UV-O3可用于去除多種污染物：

· 切削油。

· 黃蠟和松節(jié)油的混合物。

· 磨料。

· 真空泵油。

· 擴(kuò)散泵硅油。

· 有機(jī)硅真空潤(rùn)滑油。

· 助焊劑。

· 人體皮脂。

· 長(zhǎng)期接觸空氣中吸附的有機(jī)污染物。

· 真空蒸鍍法制備的碳薄膜。

· 微生物污染物（細(xì)菌、真菌）。

· 皮膚上的脂肪、酸性助焊劑、化妝品油脂、樹脂添加

· 丙酮、甲醇和異丙醇等殘留溶劑。

· UV-O3工藝作為后續(xù)涂裝和粘合的預(yù)處理，已應(yīng)用于各種基材的表面去污。

通常經(jīng)過UV-O3處理后，表面附著力會(huì)明顯提高，包括：

· 硅、鍺、砷、碳化硅等半導(dǎo)體晶片。

· 陶瓷材料，如云母、石英、硅和氧化鋁。

· 氧化鋼和氧化錫。

· 碳納米管。

· 玻璃盤。

· 不銹鋼、陽、秦、齊鑲合金、鋁合金、金、銀、銅等金屬。

· 聚合物，例如聚乙烯、聚乙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚苯乙烯、聚（醚酮）、苯乙烯-丁烯-苯乙烯和聚（二甲基硅酮）。

· 聚酰亞胺復(fù)合材料和芳綸纖維薄膜。

· 滌綸、羊毛和絲綢等織物。