UV-O3除污不僅對金屬部件有效，而且不會損壞可能附著在部件上的非金屬部件，如橡膠或塑料部件。金屬、塑料和玻璃纖維部件將根據(jù)暴露時間保留其原始表面，并且由于表面污染的程度和類型以及表面對紫外線或臭氧的可及性，某些表面會比其他表面更快地去污。

由于焊盤周圍存在電解質(zhì)，鋁焊盤可能會腐蝕。 UV-O3 暴露可提高模塑料和 IC 芯片之間的粘合力，防止焊盤處形成濕氣和電解質(zhì)。 UV-O3 凈化已被證明可有效防止腐蝕。去污后立即測量水接觸角，去污后的部件存放18h和24h后再次測量水接觸角。發(fā)現(xiàn)去污時間越長，接觸角越小。

硫很容易附著在金上，暴露在環(huán)境條件下的新沉積金樣品很容易被環(huán)境中存在的任何硫化合物污染。通過鏈烷硫醇的自組裝單層將硫與金結(jié)合在有機薄膜的接觸印刷和光刻應用中具有重要意義，并且表征此類硫醇薄膜中的硫?qū)τ诶斫馑鼈兊男再|(zhì)和相互作用至關(guān)重要。與金結(jié)合的烷基硫酸鹽在紫外光照射下轉(zhuǎn)化為烷基硫酸鹽，可以用水洗滌去除。該原理被用作 UV-O3 去污的基礎(chǔ)，以消除暴露在環(huán)境條件下的金中的硫雜質(zhì)，以及去除先前的硫醇單層以產(chǎn)生新的金表面。

研究了將二氧化碳 (CO2) 噴丸與 UV-O3 相結(jié)合的兩階段工藝，以將中小型部件表面的航空鋁合金清潔至適合粘合的清潔度。其他應用包括復雜部件的去污、非金屬部件的去污以及在應用光學和熱保護涂層之前物體的去污。