去除顆粒污染物，傳統(tǒng)的精密清洗技術(shù)側(cè)重于水和溶劑清洗。

在尋找替代清潔技術(shù)的過程中，已發(fā)現(xiàn)各種狀態(tài)的二氧化碳 (C02) 是一種有效的清潔介質(zhì)，可用于各種行業(yè)。它價格低廉、天然豐富、對反應性化合物相對惰性、無毒、不易燃且易于回收，使 CO2 非常適合作為氯化溶劑、氫氯氟烴 (HCFC)、三氯乙烷和其他消耗臭氧層溶劑的替代品用于精密清潔。

表面污染可以有多種形式，并且可能以各種狀態(tài)存在于表面上。

常見的類別如下：

·亞微米到宏觀尺寸范圍內(nèi)的顆粒，例如灰塵、金屬、陶瓷、玻璃和塑料。

可能以碳氫化合物薄膜或有機殘留物形式存在的有機污染物，如油滴、油脂、樹脂添加劑、蠟等。

有機或無機分子污染物。

離散顆粒形式的金屬污染。

離子污染物，包括陽離子（如Na'和K*）和陰離子（如CI7、F、SO3、BO5和POi-）。

微生物污染物，如細菌、真菌、生物膜等。

其他污染物類別包括半導體、金屬加工、化學生產(chǎn)、核工業(yè)、制藥以及食品加工、處理和運輸?shù)忍囟ㄐ袠I(yè)表面出現(xiàn)的有毒有害化學品、放射性物質(zhì)和生物物質(zhì)。

常見的污染源包括機加工油和油脂、液壓油和清潔液、粘合劑、蠟、人體污染和微粒，以及制造過程操作。此外，來自不同來源的其他化學污染物也可能污染表面。