二氧化碳 (CO2) 是氯化溶劑、氯氟烴 (HCFC)、三氯乙烷和其他用于精密清潔的消耗臭氧層溶劑的理想替代清潔介質(zhì)。與反應(yīng)性化合物相比，它便宜、豐富、相對惰性、無毒、不易燃且易于回收。

用于清潔的 CO2 是可重復(fù)使用的，即可以使用從工業(yè)過程中回收的氣體。這些氣體如果不回收，也會通過煙囪排放到大氣中。 CO2 在排放前被凈化并用于清潔和其他應(yīng)用。

多年來，不同狀態(tài)的CO2被廣泛用于各行業(yè)去除表面污染物。 CO2氣體也可用于對受污染基材進(jìn)行高速吹掃的清洗領(lǐng)域，但這種方法只對大于50pm左右的顆粒物有效。

干冰顆粒形式的固體 CO2 已被很好地用于清潔，例如從飛機(jī)上去除油漆、核污染和石棉去污、清潔和修復(fù)文物。

使用低密度干冰CO2清洗是一種溫和而精確的清洗技術(shù)，可以去除表面有機(jī)污染物（<10nm厚）薄膜和30-40nm范圍內(nèi)的顆粒。超臨界CO2（SCCO2）具有氣體傳輸特性和液體溶劑特性，雖然該過程必須在非常高的壓力下操作，但它比其他去除污染物的方法更靈活。