引線鍵合技術(shù)對(duì)比
熱壓(金)球形鍵合
優(yōu)點(diǎn)
可靠性?xún)?yōu)異的Au-Au鍵合
鍵合機(jī)設(shè)置參數(shù)簡(jiǎn)單
從焊球?yàn)槠瘘c(diǎn)的全方向鍵合
自動(dòng)鍵合比楔形鍵合速度快
與超聲鍵合和熱超聲鍵合相比,彈坑缺陷極少
缺點(diǎn)
需要較高的界面溫度
非常易受污染物影響
需要大的鍵合焊盤(pán)
與芯片A1焊盤(pán)的鍵合會(huì)形成疲勞
良率低于超聲楔形鍵合或熱超聲鍵合
熱超聲(金絲和銅絲)球形鍵合
優(yōu)點(diǎn)
鍵合界面溫度適中(約150℃)
超聲能量較低(相比于超聲楔形鍵合)
從焊球?yàn)槠瘘c(diǎn)的全方向鍵合
自動(dòng)鍵合速度快
優(yōu)異的、可靠的Au-Au鍵合
彈坑缺陷比超聲楔形鍵合低
缺點(diǎn)
較容易受到污染物影響,受影響程度大于超聲鍵合但小于熱壓鍵合
有一定量的彈坑缺陷風(fēng)險(xiǎn),風(fēng)險(xiǎn)大于熱壓鍵合
超聲(鋁絲和金絲)楔形鍵合
優(yōu)點(diǎn)
不易受到污染的影響
在室溫下形成可靠的Al絲鍵合
細(xì)節(jié)距,<50um
優(yōu)異、可靠的Al-Al鍵合有較高的良率
缺點(diǎn)
自動(dòng)楔形鍵合機(jī)比自動(dòng)球形鍵合機(jī)速度慢
需要設(shè)置XY引線-焊盤(pán)的方向(減慢了鍵合過(guò)程)
有產(chǎn)生彈坑缺陷更大的可能性,可能性高于熱壓和熱超聲鍵合
Au-Au、Cu和鍵合需要使用特殊劈刀(楔形)
在Ag焊盤(pán)上的Al絲鍵合不可靠
在沒(méi)有加熱的情況下Au絲鍵合不良