干冰雪花清洗機是一種利用干冰顆粒進行清洗的設(shè)備。其原理是通過將固態(tài)二氧化碳(干冰)加熱轉(zhuǎn)化為氣態(tài),然后通過噴嘴將高速噴射出的氣體聚焦在一個點上,使干冰迅速膨脹為氣體,產(chǎn)生巨大的機械沖擊力和熱凍效應(yīng),從而將污垢從被清洗物體表面震落并迅速揮發(fā)。
干冰雪花清洗機在晶圓、光學(xué)傳感器、集成電路等清潔方面具有以下優(yōu)勢:
1. 非接觸性:干冰雪花清洗機采用高速噴射干冰顆粒的方式,不需要直接接觸被清洗物體,避免了機械刮擦或化學(xué)腐蝕的風險。對于對觸摸敏感或易損壞的器件非常適用。
2. 無殘留物:干冰在接觸被清洗物體時迅速轉(zhuǎn)化為氣體,不會留下任何殘留物。這對于要求高純度和無污染的領(lǐng)域非常重要,如半導(dǎo)體制造和光學(xué)儀器制造。
3. 去除困難污染物:干冰雪花清洗機能夠有效地去除一些難以清洗的污染物,如油脂、膠水、漆等。干冰顆粒的機械沖擊力和熱凍效應(yīng)能夠?qū)⑦@些污染物從表面震落并迅速揮發(fā),達到徹底清潔的效果。
舉例來說,在晶圓制造中,干冰雪花清洗機可以用于去除晶圓表面的殘存膠水、樹脂以及其他污染物。
它能夠快速清洗晶圓表面而不會產(chǎn)生任何腐蝕或留下殘留物。這對于確保晶圓表面的純凈度和平整度非常重要,以保證后續(xù)工藝的順利進行。
在光學(xué)傳感器的清洗方面,干冰雪花清洗機能夠高效去除傳感器表面的灰塵、油脂和指紋等污染物。
由于其非接觸性和無殘留物的特點,能夠確保傳感器的敏感元件不受損壞,并提供清晰、準確的信號輸出。
對于集成電路而言,干冰雪花清洗機可以用于清除IC封裝過程中產(chǎn)生的樹脂溢出、焊盤上的焊劑以及其他污染物。其高效的清洗能力可以確保IC封裝的質(zhì)量和可靠性。
干冰雪花清洗機具有非接觸性、無殘留物和能夠去除困難污染物等優(yōu)勢,使其在晶圓、光學(xué)傳感器、集成電路等清洗領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。