表面污染可以有多種形式，并且可能以多種狀態(tài)存在于表面上。常見的類別包括微粒污染；有機(jī)污染物，其形式可能是碳?xì)浠衔锉∧せ蛴袡C(jī)殘留物，例如油滴、油脂、樹脂添加劑和蠟；可能是有機(jī)或無機(jī)的分子污染： 離子污染：在表面上微生物污染。

常見的污染源包括油和油脂、液壓油和清潔液、粘合劑、蠟、人為來源和微粒，以及來自制造和操作過程的污染物。此外，來自各種來源的其他化學(xué)污染物也會(huì)污染表面。

清潔規(guī)范通?；谝亚鍧嵄砻嫔蠚埩舻奶囟ɑ蛱卣魑廴疚锏臄?shù)量。指定航空航天硬件和其他精密技術(shù)應(yīng)用的清潔度等級(jí)的方法是：

對(duì)于顆粒污染，按顆粒尺寸 [在微米 (um) 尺寸范圍內(nèi)] 和顆粒計(jì)數(shù)指定此類等級(jí)；

對(duì)于以不揮發(fā)性殘留物為代表的碳?xì)浠衔镂廴?，在表面污染方面，這個(gè)級(jí)別是用單位面積的質(zhì)量來規(guī)定的，在液體污染方面，這個(gè)級(jí)別是用單位體積的質(zhì)量來規(guī)定的。